Bruker D8 FABLINE

  • Дифрактометр разработан для контроля качества полупроводниковых пластин. Комбинация из высокоразрешающего рентгенодифракционного анализа + отражательной рентгеновской микроскопии + микро рентгенфлуоресцентного анализа и дифракции под скользящими углами
  • Позволяет контролировать такие параметры как
    • Толщину пленки
    • Химический состав
    • Шероховатость
    • Плотность слоев
    • Пористость
    • Кристаллическую структуру
    • Степень релаксации
    • Ориентацию
    • Исследовать остаточные напряжения
  • Размер образца: до 300мм
  • Класс частоты: ISO 10
  • Перемещение образца X ±150 мм, Y 150мм, Z – 2мм

к списку

Scroll Up