Veeco TurboDisc MaxBright MHP MOCVD

  • Многореакторные установки мос-гидридной эпитаксии для осаждения слоев GaN
  • Промышленная МО ХОГФ установка для крупносерийного производства светодиодов
  • Различные варианты кассет для пластин, включая 14×4”, 6х6”
  • Новое поколение ростового реактора с устройством Flow Flange
  • Автоматизированная система, объединяющая несколько реакторов в модульный 2-х или 4-реакторный кластер.
  • Усовершенствованные реакторы K465iHP с запатентованной технологией замкнутого цикла теплового контроля и увеличенной на 25% пропускной способности по пластинам
  • Возможность использования рецептов модели K465i для легкого и быстрого запуска производства на установке MaxBright.
  • Мульти-реакторная архитектура обеспечивает высокую производительность при низкой стоимости владения
  • Год выпуска: 2011

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.