Veeco TurboDisc K475i MOCVD

  • Установка мос-гидридной эпитаксии для осаждения слоев As/P
  • МО ХОГФ установка для производства красных, оранжевых и желтых светодиодов, многопереходных солнечных элементов, лазерных диодов и транзисторов.
  • Различные варианты кассет для пластин, включая 15×4”, 7×6”
  • Система К475i улучшает качество продукции, производительность и доходность.
  • Вакуумная загрузка и блокировка автоматики для длительного производственного цикла и высокой производительности
  • Интегрированная технология RealTemp® 200 обеспечивает прямой автоматический контроль температуры с обратной связью
  • FlowFlange® предлагает дискретные зоны инъекций с индивидуальным подбором потоков с отличной равномерностью и повторяемостью
  • Модульный дизайн для простоты обслуживания и модернизации

к списку