Veeco TurboDisc K465i HP MOCVD

  • Установка мос-гидридной эпитаксии для осаждения слоев GaN
  • Установка высокой производительности для серийного производства светодиодов и лазеров
  • Различные варианты кассет для пластин, включая 12×4”, 6х6”
  • До 20% лучше однородность в пределах пластины по сравнению с системой K465i
  • Наивысшая производительность в отрасли благодаря полной автоматизации и сокращению периода восстановления после технического обслуживания.
  • Включает в себя новые единые технологии FlowFlange® для максимальной однородности пленок и конечной повторяемости процесса
  • На основе производства доказана высокая пропускная способность
  • Упрощенная конструкция обеспечивает простоту настройки для быстрой оценки производства и быстрого восстановления после ремонта
  • Технология низкого обслуживания TurboDisc обеспечивает высокую доступность системы
  • Самая низкая стоимость владения для максимальной рентабельности

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.