Veeco TurboDisc K465 MOCVD

Установка мос-гидридной эпитаксии для осаждения слоев GaN
Промышленная высокопроизводительная МО ХОГФ установка для массового производства основанных на нитриде галлия (GaN) голубых и зеленых светодиодов и голубых лазеров.
Различные варианты кассет для пластин, включая 45 x 2”
Технология низкого обслуживания TurboDisc обеспечивает высокую доступность системы
Переставляемость реакторов и модулей источника позволяет использовать несколько технологий.
Полностью автоматизированная система
FlowFlange дискретных® зоны инъекций с индивидуального потока обеспечивают отличную равномерность и повторяемость
Транспортер может быть загружен в любое время в процессе цикла, тогда, когда реактор остается под вакуумом
Автоматическая система переноса носителей не требует замены частей между запусками
Год выпуска: 2007

Обратная связь