Veeco TurboDisc K465 MOCVD

  • Установка мос-гидридной эпитаксии для осаждения слоев GaN
  • Промышленная высокопроизводительная МО ХОГФ установка для массового производства основанных на нитриде галлия (GaN) голубых и зеленых светодиодов и голубых лазеров.
  • Различные варианты кассет для пластин, включая 45 x 2”
  • Технология низкого обслуживания TurboDisc обеспечивает высокую доступность системы
  • Переставляемость реакторов и модулей источника позволяет использовать несколько технологий.
  • Полностью автоматизированная система
  • FlowFlange дискретных® зоны инъекций с индивидуального потока обеспечивают отличную равномерность и повторяемость
  • Транспортер может быть загружен в любое время в процессе цикла, тогда, когда реактор остается под вакуумом
  • Автоматическая система переноса носителей не требует замены частей между запусками
  • Год выпуска: 2007

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.