Veeco TurboDisc E450 MOCVD

  • Установка мос-гидридной эпитаксии для осаждения слоев As/P
  • МО ХОГФ установка для массового производства HB-светодиодов и А3В5 концентрирующих солнечных элементов, испускающих повышенное на 15% излучение.
  • Установка дает возможность массового производства многопереходных А3В5 концентрирующих солнечных элементов, красных, оранжевых и желтых HB-светодиодов, лазерных диодов, псевдоморфных транзисторов с высокой подвижностью электронов (pHEMTs) и биполярных транзисторов с гетероперходом (HBTs).
  • Различные варианты кассет для пластин, включая 50 x 2″
  • Установка обеспечивает прямое управление температурой пластины, малоинерционные газовые переключения для точного управления крутизной границы раздела, и автоматизацию вакуумного загрузочного шлюза для наивысшей производительности.
  • Система Е450 улучшает качество продукции, производительность и доходность.
  • Вакуумная загрузка- и блокировка автоматики для длительного производственного цикла и высокой производительности
  • Интегрированная технология RealTemp® 200 обеспечивает прямой автоматический контроль температуры с обратной связью
  • FlowFlange® предлагает дискретные зоны инъекций с индивидуальным подбором потоков с отличной равномерностью и повторяемостью

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.