Veeco GEN2000 Edge MBE

  • Кластерный промышленный комплекс молекулярно-лучевой эпитаксии, созданный на базе системы GEN200
  • Объем загрузки пластин: 23×3″, 14×4″, 7×6″, 3×8″
  • Тип загрузки образцов: автоматический
  • Автоматизированная транспортировка пластин позволяет использовать установку с большей эффективностью
  • Существует возможность присоединения дополнительно до двух ростовых модулей для резкого увеличения производительности или согласования несочетающихся материалов
  • Установление перегородки – опция, предназначенная для отделения загрузочных модулей от собственно кластерной установки и ростовых модулей с целью обеспечения чистого внутреннего объема
  • Затраты на эксплуатацию на пластину и занимаемая площадь на 40-60% меньше, чем у традиционных МЛЭ комплексов

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.