Veeco GEN10 MBE

  • Универсальная система молекулярно-лучевой эпитаксии для НИОКР
  • Кластерный комплекс, включающий до 3-х модулей МЛЭ
  • Наличие специализированных ростовых модулей обеспечивает рост несовместимых материалов в одной вакуумной системе
  • Тип реактора: вертикальный
  • Предусмотрена возможность установки электронно-лучевого испарителя и устройств контроля результатов процесса в режиме реального времени.
  • Нагрев до высоких температур осуществляется в условиях сверхвысокого вакуума и атмосфере водорода или аммиака.
  • Объем загрузки пластин одной ростовой камеры: 1×1″, 1×2″, 1×3″
  • Тип загрузки образцов: автоматический
  • Автоматизированная транспортировка пластин позволяет использовать установку с большей эффективностью
  • Позволяет одновременно производить несколько исследовательских работ
  • Применяется для широкого спектра нитридов или оксидов

к списку