Veeco E300 LDM MOCVD

  • Установка мос-гидридной эпитаксии для осаждения слоев сложных соединений InGaAsP, InGaAlP, AlGaAs
  • МО ХОГФ установка для крупносерийного производства длинноволновых, ИК- и видимого света лазеров, полупроводниковых лазеров с вертикальным резонатором и поверхностным излучением и электронных материалов, основанных на фосфиде индия (InP).
  • Новое поколение ростового реактора и устройство Flow Flange
  • Особая технология оптического контроля RealTemp, которая обеспечивает внутрипроцессный мониторинг и управление температурой пластины в течение производственного цикла
  • Объединение со стандартными компонентами, включая герметизированный рабочий (с перчатками) бокс установки для чрезвычайно чистой транспортировки пластин и акустическая измерительная система для точного контроля массового расхода газовых процессов дают в результате исключительное качество материала и эффективность процесса
  • Модульный принцип построения

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.