Veeco E300 GaNzilla II MOCVD

  • Установка мос-гидридной эпитаксии для осаждения слоев GaN для серийного производства голубых, зеленых и УФ светодиодов, лазеров голубого спектра и полевых транзисторов
  • Устойчивый, повторимый процесс роста приводит к превосходной однородности материала и минимальному обслуживанию установки
  • Возможности высокоскоростного газового переключения и быстрого вывода на температурный режим позволяют получить наилучшую поверхность активного слоя для самых ярких светодиодов
  • Полная автоматизация, включая автоматизированную передачу пластин, обеспечивает самую высокую пропускную способность
  • Безотказная работа гарантируется надежностью подсистем и компонентов
  • Эффективная встроенная система контроля и характеристики блоков управления позволяет анализировать в режиме реального времени скорость роста, морфологию и температуру пластины
  • Укомплектована собственным особым загрузочным шлюзом для максимальной производительности.

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.