Veeco Discovery 180 (D180) MOCVD

  • Установка мос-гидридной эпитаксии для осаждения слоев GaN
  • Осаждение слоев для производства голубых, зеленых и УФ светодиодов, лазеров голубого спектра, GaN электронных приборов и полевых транзисторов
  • Идеально подходит для решения задач, связанных с Al-содержащими сложными соединениями
  • Высококачественное осаждение AlGaN со стабильной скоростью выращивания
  • Установка как для программ усовершенствования материалов, так и мелкосерийного производства
  • Применяется технология TurboDisc® MOCVD
  • Вакуумный загрузочный шлюз обеспечивает высокую производительность и предотвращает загрязнение кислородом и парами воды (дополнительный турбомолекулярный насос, пригодный для глубокой вакуумной откачки загрузочного шлюза)
  • Вертикальная конфигурация ростовой камеры минимизирует нежелательные отложения частиц
  • Максимальный % выхода годных, исключительная равномерность по толщине, легирующим добавкам и составу
  • Очистительные фильтры газовых линий удаляют макрочастицы, влагу и молекулярные загрязнители
  • Передовые нагревательные элементы ростовой камеры обеспечивают быстрый нагрев/время охлаждения между циклами
  • Кассеты состоят из карбида кремния, покрытого графитом, загрузка пластин: 6×2”, 3×3”
  • Съемные кассеты для пластин позволяют производить их очистку вне установки
  • Магнитно связанный с приводом манипулятор точно устанавливает кассеты на держатель
  • Погрузчик для кассет поддерживает до 3 кассет для пластин для перемещения в ростовую камеру (встроенная защитная камера с перчатками, применимая для стерильной загрузки/разгрузки пластин)
  • Размеры установки: длина = 169” (430см), ширина = 51” (130см), высота = 81” (206см)
  • Встроенная система контроля для оперативного точного измерения температуры и скорости роста уменьшает операционные затраты и оптимизирует выход приборов
  • Собственная технология Flow Flange® обеспечивает точную поставку реагента и строгий контроль над однородностью, толщиной слоя и резкостью границы раздела.
  • Содержит интегрированный RealTemp® 200 – встроенную систему измерения температуры пластины, которая оптимизирует температурную воспроизводимость.

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.