FHR FLA-100

• Установка импульсного отжига (БТП — формирование сверхмелких переходов, обработка гетероэпитаксиальных слоев, производство солнечных элементов)
• Подложки до Ø4″, с адаптером — Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы 20х30мм толщиной до 1мм
• Предподогрев 700 — 1100°C, максимальный нагрев — 2000°C
• Изменение температуры — до 100°K/сек
• Рабочее давление: от 1х10^-5 мбар до 2,6х10^-1 мбар
• Газы: Ar, N₂, O₂; c контроллерами массового расхода
• 8 импульсных ламп диапазона 400 — 800 нм
• Однородность температуры подложки 1,5%
• Нагрев только поверхности материала

к списку