SAMCO RIE-200iP (ICP)

• Компактная автоматическая установка травления индуктивно-связанной плазмой с  загрузочным блоком для НИОКР и опытного производства, анализа отказов ИС
• Назначение: высококачественное анизотропное травление всех видов кремниевых пленок для приборов ультравысокой степени интеграции; травление GaAs, GaN, InP и других полупроводниковых соединений; производство быстродействующих приборов; производство силовых приборов (монолитных СВЧ-ИС, транзисторов с высокой подвижностью электронов и пр.); производство ПАВ-фильтров; производство волноводных устройств; травление металлических пленок; травление органических покрытий; микромеханическое производство  
• Рабочая камера: ø440мм из алюминия с антикоррозионным покрытием и контролируемой температурой
• Загрузочная камера: алюминиевая, (520х440х205)мм с ручнам открытием/закрытием камеры загрузки. Позволяет использовать хлорсодержащие реагенты
• Перемещение пластин: линейным вакуумным автоматическим манипулятором
• Пластины:  до ø6” (опционно – ø8”), оперативное управление температурой пластины за счет гелиевого охлаждения обратной стороны, 
• Электроды: ИСП –электрод (верхний) — Tornado Coil Electrode, нижний – из нержавеющей стали электрод ø208мм  с жидкостным охлаждением. Механический или электростатический держатель пластины
• Температура подложкодержателя: (-10÷250)°C   
• Источник ИСП: 1000Вт (Tornado ICP Coil)/1000Вт (Cone-shape ICP Coil)/3000Вт (Planar ICP Coil) /3000Вт (SSTC Coil), 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления. Источника смещения – 300Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
• Газовая система: 4 газовые линии с РРГ и давлением 1 кг/см², продувочный азот с давлением 1 кг/см² и расходом 12 л/мин, гелий с давлением 1 кг/см² 
• Применяемые газы: Cl, BCl₃, SiCl₄, CHF₃, O₂, Ar, Hе, N₂
• Вакуумная система: многопортовая; для рабочей камеры — турбомолекулярный насос 1000л/сек и роторный форвакуумный насос 650л/мин, с автоматическим контролем давления для замкнутого цикла с моторизированным шибером; для загрузочной камеры — роторный форвакуумный насос 840л/мин
• Контроль вакуума: в рабочей камере — мембранный вакуумметр (1,33÷1,33х10^-3) Па, ионизационый вакуумметр (10÷10^-6) Па; в загрузочной камере – кристаллический вакуумметр (атмосфера÷1х10^-2) Па
• Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение 100 10-ти шаговых технологических программ, протоколирование данных. Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления. Предохранительные блокировки для безопасной работы персонала
• Электроэнергия: 380В, 3ф, 75А
• Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см²
• Охлаждающая вода: (1÷2) кг/см², 2 л/мин
• Два патрубка NW25 для подключения двух роторных насосов
• Габариты: установка — (1000x1375x1665) мм, насосный блок — (480x700x513) мм
• Окончание процесса: визуально/по интерферометру
• Опционно: до 8 дополнительных газовых линий, система фильтрации масла, система оповещения окончания процесса

к списку