SAMCO RIE-10NR

• Недорогая, высокоэффективная полностью автоматическая установка реактивно-ионного травления  с открытой загрузкой для НИОКР и анализа отказов ИС
• Назначение: вскрытие пассивирующих материалов, включая нитрид кремния, диоксид кремния, оксинитрид кремния; высокоселективное анизотропное травление всех типов кремнесодержащих пленок, полупроводниковых соединений и тугоплавких металлов, включая Si, SiO₂, поликремний, Si₃N₄, GaAs и Mo; микромеханическое производство; удаление остатков герметизирующих материалов на интегральных схемах для анализа отказов; травление органических материалов 
• Рабочая камера: алюминиевая, ø340мм; 2 смотровых окна ø40мм для визуального контроля
• Загрузка ручная, открытая
• Подложки:  пластины до 8” или несколько образцов или корпусированных приборов
• Электроды: верхний алюминиевый электрод ø240мм с распылителем газа, нижний алюминиевый электрод-подложкодержатель ø250мм с кварцевым покрытием против напылния ø8” и жидкостным охлаждением; зазор между электродами – 55мм
• Обработка по одной пластине или нескольких образцов или корпусированных приборов
• ВЧ-генератор: 300Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
• Газовая система: 2 газовые линии процессных газов с РРГ давлением 1 кг/см², продувочный азот с давлением 1 кг/см² и расходом 12 л/мин 
• Применяемые газы: CF₄, CHF₃, SF₆, O₂, Ar/N₂, N₂
• Вакуумная система: турбонасос 200л/сек и роторный форвакуумный насос 250л/мин, выхлопной патрубок для резервного насоса NW25, широкодиапазонный вакуумметр (10⁵÷5х10^-7) Па, емкостной вакуумметр (2,66×10²÷2,66×10^-2)Па
• Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления
• Электроэнергия: 200В, 3ф, 20А
• Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см²
• Охлаждающая вода: давление — (3÷5) кг/см², расход – (2÷3) л/мин
• Габариты: установка — (500x920x1510) мм, насосный блок — (522x163x216) мм
• Окончание процесса: по оптическому интерферометру
• Опционно: до 6 дополнительных газовых линий, система оповещения окончания процесса, скруббер для очистки выхлопного газа, вакумные насосы

к списку