• Установка плазменной активации / очистки поверхности для НИОКР и лабораторий
• Вакуумируемая камера из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 50 мм и длиной 150 мм
• Ручное управление
• Одна пара электродов за пределами вакуумной камеры

далее

• Многовариантная плазменная установка для мелкосерийного производства МЭМС, датчиков, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
• Назначение: плазменная очистка, плазменное травление, плазменная активация для производственного процесса
• Вакуумируемая камера объемом от 1,9 до 6 литров в зависимости от варианта:

— цилиндрическая из нержавеющей стали диаметром 100 мм и длиной 278 или 600 мм с крышкой;

— прямоугольная из нержавеющей стали 103 х 285 х 103 мм с открывающейся дверкой;

— цилиндрическая из алюминия диаметром 95 мм и длиной 280 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

— цилиндрическая из сверхчистого кварцевого стекла диаметром 95 мм и длиной 280 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

— цилиндрическая из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 95 мм и длиной 280 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод

далее

• Лабораторная плазменная установка для мелкосерийного производства, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
• Цилиндрическая вакуумируемая камера объемом от 1,7 до 2,6 литра в зависимости от варианта (с крышкой):

— из сверхчистого кварцевого стекла диаметром 105 мм и длиной 200 или 300 мм;

— из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 105 мм и длиной 200 или 300 мм

• Одно- или многоуровневые электроды
• Управление, варианты : ручное; компьютерное (на базе Windows CE); компьютерное (на базе Windows POS Ready 2009);

далее

• Многовариантная плазменная установка для мелкосерийного производства МЭМС, датчиков, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
• Назначение: плазменная очистка, плазменное травление, плазменная активация для производственного процесса
• Вакуумируемая камера объемом от 4 до 15 литров в зависимости от варианта:

— цилиндрическая из нержавеющей стали диаметром 150 мм и длиной 320 или 600 мм с крышкой;

— прямоугольная из нержавеющей стали 160 х 325 (или 600) х 160 мм с открывающейся дверкой;

— цилиндрическая из алюминия диаметром 130 мм и длиной 300 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

— цилиндрическая из сверхчистого кварцевого стекла диаметром 130 мм и длиной 300 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

— цилиндрическая из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 130 мм и длиной 300 или 600 мм с крышкой

• Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод

далее

• Лабораторная плазменная установка для мелкосерийного производства, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
• Назначение: плазменная очистка, плазменное травление, плазменная активация для производственного процесса
• Цилиндрическая вакуумируемая камера объемом 10,5 литра (с крышкой) из стекла диаметром 211 мм и длиной 300 мм;
• Одно- или многоуровневые электроды

далее

• Многовариантная плазменная установка для мелкосерийного производства МЭМС, датчиков, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских технологиях, стерилизации, НИОКР, археологических исследований и пр.
• Назначение: плазменная очистка, плазменное травление, плазменная активация для производственного процесса
• Вакуумируемая камера объемом от 18 до 36 литров в зависимости от варианта:

— цилиндрическая из нержавеющей стали диаметром 267 мм и длиной 420 или 600 мм с крышкой;

— прямоугольная из нержавеющей стали 240 х 420 (или 600) х 240 мм с открывающейся дверкой;

— цилиндрическая из алюминия диаметром 240 мм и длиной 400 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

— цилиндрическая из сверхчистого кварцевого стекла диаметром 240 мм и длиной 400 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой;

— цилиндрическая из сверхчистого боросиликатного стекла диаметром 240 мм и длиной 400 или 600 мм с крышкой или открывающейся дверкой

• Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод

далее

• Плазменная установка для мелкосерийного производства, МЭМС, электронной микроскопии, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских, солнечных технологиях, биотехнологии, НИОКР, археологических исследований и пр.
• Назначение: плазменная очистка
• Вакуумируемая прямоугольная камера из нержавеющей стали объемом от 34 до 57 литров в зависимости от варианта и размерами 305 х 370 (или 625) х 300 мм с открывающейся дверкой;
• Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод с распылителем газов

далее

• Плазменная установка для мелкосерийного производства, МЭМС, электронной микроскопии, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских, солнечных технологиях, биотехнологии, НИОКР, археологических исследований и пр.
• Назначение: плазменная очистка
• Вакуумируемая камера объемом от 80 до 100 литров в зависимости от варианта:

— цилиндрическая из нержавеющей стали диаметром 400 мм и длиной 625 мм с открывающейся дверкой;

— прямоугольная из нержавеющей стали 400 х 625 х 400 мм с открывающейся дверкой;

• Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод с распылителем газов

далее

• Плазменная установка для мелкосерийного производства, МЭМС, электронной микроскопии, полупроводниковых технологий, аналитических исследований, использования в медицинских, солнечных технологиях, биотехнологии, НИОКР, археологических исследований и пр.
• Назначение: плазменная очистка
• Вакуумируемая прямоугольная камера из нержавеющей стали объемом 150 литров и размерами 400 х 625 х 600 мм с открывающейся дверкой
• Электроды: одно- или многоуровневые электроды; RIE-электрод с распылителем газов

далее

• Специальная плазменная установка для распыления (нанесения покрытий в высоком вакууме), а также для очистки с целью подготовки сверхчистых поверхностей
• Вакуумируемая прямоугольная камера объемом 15 литров и размерами 360 х 150 х 260 мм
• Управление: компьютерное (на базе Windows) с промышленной интерфейсной шиной
• Подвод технологического газа через контроллеры массового расхода, 2 газовых линии

далее