PVA TEPLA EKZ 3000

  • По сравнению с существовавшими ранее установками для тигельного вытягивания конструкция и исполнение установки EKZ 3000 представляют собой значительный шаг вперед на пути развития систем для выращивания кристаллов методом Чохральского.
  • Этот тип установки разработан с учетом всех имеющихся знаний на момент создания, кроме того, были использованы ноу-хау заказчиков из разных стран мира.
  • Эти установки полностью соответствуют необходимым условиям, которые выдвигаются в связи с высокими требованиями к качеству кристаллов и серийной производительности.
  • Кристалл: диаметр до 300 мм, длина до 2100 мм
  • Установка может быть использована для производства опытных образцов кристаллов диаметром 400 мм
  • Диаметр тигля: до 915 мм
  • Котёл: диаметр 1320 (1250) мм, высота 2185 мм
  • Загрузка: 450 кг поликремния
  • Электричество: 3AC / PE 400В ± 5%, 50 Гц
  • Съемник с магнитом, мощность: 450 (800) кВА
  • Технологический газ: максимум 200 литров / мин
  • Сжатый воздух: 4 – 6 Бар
  • Расход воды: 500 (1000) литров / мин
  • Опция: Система фильтрации SiO
  • Габариты: высота (вал) 12700 мм, ширина 2500 мм, глубина 2500 мм
  • Вес: со съемником вала 27000 кг, силовые шкафы 2700 кг, шкаф управления 1000 кг

к списку