ООО НПК «ТехМашСервис»

СДОМ (Термодиффузионная установка)

  • Установка для обработки полупроводниковых пластин в рамках НИОКР и промышленного производства
  • Назначение:  проведение процессов диффузии, отжига, сухого оксидирования, мокрого оксидирования, вжигания в среде форминг-газа, вжигания в среде 100% водорода, оплавления припоя, легирования p-типа, легирования n-типа, разгонки примеси
  • Режимы работы: автоматический и полуавтоматический
  • Количество камер (труб) в установке: 1, 2, 3 или 4
  • Подложки: пластины ø76 мм, ø100 мм, ø150 мм
  • Длина рабочей зоны реактора: 400 – 900 мм
  • Диапазон рабочих температур: 450 – 1300 °С
  • Способ нагрева: резистивный
  • Число нагревателей: 1 – 4 шт.
  • Точность поддержания температуры во время рабочего процесса: ±0,25 °С
  • Время разогрева печи до максимальной рабочей температуры: ≤2 ч
  • Количество входов для рабочих газов: (2÷8)
  • Электроэнергия: 380 В, 3 ф, 50/60 Гц, 100 кВт (для варианта с 3-мя трубами)
  • Габариты: в зависимости от конкретной комплектации: длина 4800 – 6000 мм, ширина 800 – 900 мм, высота 2360 мм
  • Масса: 2245 кг (СДОМ — 3/100)

СДОМ (LPCVD)

  • Установка химического осаждения из газовой фазы при низком давлении
  • Назначение:  получение тонких пленок при пониженном давлении в реакционной камере
  • Процессы: Отжиг; Восстановление; Гидролиз; Образование карбида и нитрида; Si, SiO2, Ge, GaN и тд.
  • Режимы работы: автоматический и полуавтоматический
  • Количество камер (труб) в установке: 1, 2, 3 или 4
  • Подложки: пластины ø76 мм, ø100 мм, ø150 мм
  • Длина рабочей зоны реактора: 600 – 900 мм
  • Диапазон рабочих температур: 400 – 900 °С
  • Способ нагрева: резистивный
  • Число нагревателей: 1 — 4 шт.
  • Точность поддержания температуры во время рабочего процесса: ±0,5 — 1,5 °С
  • Время разогрева печи до максимальной рабочей температуры: ≤ 2 ч
  • Величина остаточного давления в реакторе: не более 1,3 Па
  • Величина рабочего давления: 5 – 1500 Па
  • Скорость откачки: не менее 50 л/сек
  • Количество входов для рабочих газов: 2 — 8
  • Электроэнергия: 380 В, 3 ф, 50/60 Гц, 100 кВт (для варианта с 3-мя трубами)
  • Габариты: длина 6180 мм, ширина 800 – 900 мм, высота 2360 мм
  • Масса: 2245 кг (СДОМ — 3/100)