ELS 606FA

  • Установка задубливания фоторезиста
  • Размер подложки：100 — 150мм
  • Состав：            зона загрузки / Робот / система выравнивания / система нагрева / зона выгрузки
  • Тип робота：двойной манипулятор с системой картирования
  • Класс чистоты：класс 100 с HEPA фильтром
  • Нагрев: до 150 °С (опционально до 200°С)
  • Способ нагрева: контакт / близость
  • Управление：встроенный компьютер
  • PLC секвенсор：Mitsubishi Q series
  • Рецепты：         30 рецептов x 50 шагов
  • Производительность：100-120 шт. в час

к списку