TEL Triase+ SPAi (HD LPCVD)

  • Автоматическая многокамерная  установка с  шлюзовой загрузкой для щадящей обработки одиночных пластин в высокоплотной низкотемпературной плазме для серийного производства
  • Назначение: нитридирование затворов, восстановительное оксидирование затворов, образование слоя оксида для узкощелевой изоляции, образование слоя нитрида с высокой диэлектрической проницаемостью, дополнительная обработка и повышения качества поверхности при FEOL-технологии и прочее
  • Процессные камеры: до 4 (варианты – UVRF, High-K CVD, SPA, LPA)
  • Загрузка в FOUP-контейнерах
  • До трех кассетные загрузочных станций
  • Роботизированное устройство загрузки, ориентации и перемещения пластин
  • Технология:  Slot Plane Antenna
  • Пластины: ø12”
  • Материал подложек: Si
  • Источники плазмы с системой автоматического согласования
  • Газовая система: газовые линии с РРГ
  • Система управления: компьютерная с сенсорным экраном; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Температурный контроллер, чиллеры
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Оборотная охлаждающая вода
  • Очищенный сжатый воздух: (6÷8) бар

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.