TEL Telius SP (RIE/CCP)

  • Автоматическая многокамерная  установка реактивно-ионного травления/травления емкостно-связанной плазмой с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: травление диэлектриков, оксидов; глубокое травление канавок Si
  • Процессные камеры: до 4, из анодированного алюминия либо с керамическим покрытием
  • Загрузка в FOUP-контейнерах
  • До 5 кассетных загрузочных станций
  • Роботизированное сдвоенное устройство загрузки и перемещения пластин
  • Различные конфигурации процессных камер (DRM, SCCM, SCCM DT, SCCM SE, SCCM Oxide, Vesta) для обеспечения различных видов обработки
  • Пластины: ø12” (SCCM); ø8” (Vesta)
  • Система ориентации пластин
  • Электроды: верхний электрод из анодированного алюминия, нижний электрод с керамическим электростатическим подложкодержателем с гелиевым охлаждением. Зазор между электродами: 40 мм
  • Источники плазмы: нижний электрод – (0÷5000)Вт, 2 MГц (варианты – (0÷4000)Вт, 3,2 MГц; (0÷5000)Вт, 13,56 MГц); верхний электрод – (0÷5000)Вт, 60 MГц (вариант – (0÷3000)Вт, 40,68 MГц); системы автоматического согласования
  • Газовая система: до 12 газовых линий с РРГ на каждую процессную камеру
  • Применяемые газы: C2F8, C3F8, C5F8, C4F8, C4F6, C6F6, CF4, CH4, CHF3, CH2F2, CH2F6, SF6, CO, H2, HBr, NF3, SiF4, Ar, O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов – (3÷120) л/ч
  • Система управления: компьютерная с сенсорным экраном; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Температурный контроллер, нагреватели/чиллеры
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Оборотная охлаждающая вода
  • Азот: 60 л/ч
  • Очищенный сжатый воздух: (6÷8) бар
  • Электроэнергия: 208В, 175А, 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.