TEL TELINDY PLUS™ IRad™

TELINDY PLUS ™ IRad ™ является комбинацией между крупносерийными системами термической обработки и плазменной обработки. TELINDY PLUS ™ IRad ™ сохраняет все конструктивные преимущества проверенной на практике, высоко-производительной и надежной платформы TELINDY PLUS ™, в то же время обеспечивая возможность безупречной работы в плазме. Таким образом, TELINDY PLUS ™ IRad ™ еще больше расширяет пакетные технологии до новых, более низких температурных режимов, сохраняя при этом качество осажденных пленок. TELINDY PLUS ™ IRad ™ является стабильной системой для высококачественного осаждения тонких пленок при низких температурах, что становится все более востребованным для передовых устройств и плотных трехмерных структур. Области применения включают сверхнизкие температуры ALD Si3N4 и SiO2. Благодаря возможности очистки сухим газом достигается сокращение времени простоя.

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.