SCIENTA OMICRON EVO-50 MBE

  • Установки молекулярно-лучевой эпитаксии
  • Лабораторное применение: рост металлов, полупроводников (III-V, III-N, II-VI, SiGe), магнитных материалов, оксидов, органических соединений…
  • Специализированная система MBE с рабочей камерой и с дополнительной камерой подготовки/хранения.
  • Размеры подложки: 2″.
  • Возможно исследование стандартных образцов пластин Scienta Omicron
  • Конструкция камеры: до 10 портов
  • Объем ячейки от 35 см3 до 80 см3. Объемы для приложений от 1,5 см3 до 5 см3.
  • Расстояние от источника до подложки: 190 мм
  • Исходный угол наклона: 38° => < 1% однородность толщины на 2″ подложке
  • Превосходная равномерность толщины для всех размеров подложек.
  • Варианты: Высокотемпературный нагрев с Ta-Wire, W-Wire, SiC or PG-Heate
  • Быстрая и надежная передача образца вместе с отличными результатами производительности и низкой стоимостью владения.
  • Легкое и интуитивное программное управление ростом с возможностью стандартного анализа оборудования Scienta Omicron делает это уникальная система MBE для исследователей.
  • Поворотные жалюзи
  • Типы используемых насосов: Turbo, TSP, IGP, Cryo

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.