SAMCO RIE-800iPBC(ICP)

  • Автоматическая установка высокоскоростного глубокого травления кремния индуктивно-связанной плазмой с  кассетной загрузкой для массового производства
  • Назначение: производство МЭМС (акселерометров, гироскопов, актюаторов и пр.); создание переходных отверстий в кремнии при производстве 3D-интегрированных структур (травление отверстий в пластинах глубиной до 600 мкм); производство датчиков; возможность проведения Бош-процессов; резка кремниевых пластин на чипы;
  • Рабочая камера: из алюминия, внутренний ø440мм
  • Вакуумируемая кассетная загрузочная камера. Загрузка пластин кассетная автоматическая
  • Перемещение пластин: вакуумным автоматическим манипулятором
  • Пластины:  до ø8”, оперативное управление температурой пластины за счет гелиевого охлаждения обратной стороны 
  • Электроды: ИСП –электрод (верхний) – High-density ICP Plasma, нижний –электрод с подложкодержателем
  • Подложкодержатель: ø221мм, алюминиевый,  электростатический захват, гелиевое охлаждение
  • Источник ИСП: 3000/5000Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления. Источника смещения – 500Вт, 13,56МГц, с автоматическим согласованием сопротивления
  • Газовая система: до 6 газовых линий с РРГ, продувочный азот, гелий
  • Применяемые газы: CHF3, C4F8, CF4, SF6, O2, Ar, Hе, N2 и прочие
  • Вакуумная система: для рабочей камеры – турбомолекулярный насос и безмасляный форвакуумный насос, автоматическое управление давлением; для загрузочной камеры – безмасляный форвакуумный насос
  • Система управления: компьютеризированная сенсорная панель обеспечивает контроль за параметрами процесса, ввод и хранение технологических программ, протоколирование данных
  • Электроэнергия: 200В, 3ф
  • Очищенный сжатый воздух: (5÷7) кг/см2
  • Азот: на установку – 1 кг/см2, на безмасляные насосы – (2÷10) кг/см2
  • Охлаждающая вода
  • Вытяжная вентиляция от  насосов
  • Габариты: (1200x2270x2270) мм
  • Опционно: система оповещения окончания процесса по интерферометру; комплект оснастки для обработки пластин различных размеров; вентиляция из газового шкафа; система подачи импульсов для предотвращения образования бороздок на поверхности при травлении структур «кремний на изоляторе»; комплект оснастки для травления SiO2

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.