SAMCO PD-270STL(PECVD)

  • Автоматическая установка катодного плазмо-активированного химического осаждения пленок с загрузочным шлюзом для НИОКР
  • Применяются жидкостные источники реагентов (TEOS) и низкотемпературные процессы для обеспечения высокой скорости осаждения
  • Сильное электрическое поле вокруг подложкодержателя с катодной связью генерирует ионы с высоким уровнем энергии, обеспечивающими осаждение пленок SiO2 с низким остаточным напряжением и предельной толщиной пленки порядка 30 мкм 
  • Назначение: высокоскоростное (3000÷5000 Å/мин) осаждение толстых пленок: оксидов кремния (до 30 мкм); производство световодов; производство масок для травления для микромеханики; осаждение пленок на пластиковые поверхности; низкотемпературное осаждение (от температуры окружающего воздуха до 300°C)
  • Загрузка: через атмосферный загрузочный шлюз и вакуумируемую транспортировочную камеру; пластины до 8”
  • Перемещение пластин: линейным автоматическим манипулятором
  • Подложкодержатель: 200 мм
  • Обработка по одной пластине или групповая
  • Усовершенствованная внутренняя стенка камеры
  • Температура подложкодержателя: (20÷400)°C   
  • Мощность ВЧ-генератора – 1кВт/1,5кВт
  • Газовая система: до 4 газовых линий и модуль подачи жидкого реагента
  • Вакуумная система: турбонасос, механический бустерный насос и роторный насос
  • Система управления: с сенсорного компьютеризированного дисплея.  Полная автоматизация процесса (одной кнопкой) и возможностью ручнго управления
  • Вытяжная вентиляция: от загрузочной камеры, от выхлопа форвакуумного насоса (от рабочей камеры) для обеспечения безопасности персонала
  • Окончание процесса: оптическое определение момента завершения процесса

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.