PVA TEPLA FZ 14 M

  • Установка FZ-14M разработана специально для выполнения аналитических задач. Это установка для выращивания кристаллов кремния с плавающей зоной, разработанная в строгом соответствии с требованиями стандартам ASTM F1723- Установка FZ-14M превращает миниатюрные стержни поликристаллического кремния в монокристаллический кремний для оценки качества и чистоты поликристаллического материала. Стандарт F1723-96 требует, чтобы образцы сердцевины поликристаллического кремния превращались в монокристаллический кремний в установках для выращивания с плавающей зоной. Стержень преобразуется за один проход в инертном газе (аргоне). Монокристалл анализируется по методу спектрометрии для выявления следов примесей в поликристаллическом кремнии. К примесям

относятся акцепторы (бор и/или алюминий), доноры (фосфор и/или мышьяк), а также углерод.

  • Кристалл: диаметр: от 10 до 25 мм, длина до 180 мм
  • Скорость вытягивания от 4 до 6 мм / мин
  • Электричество: 3AC / PE 400В ± 5%, 50 Гц . Мощность: максимум 50 кВА
  • Технологический газ аргон: максимум 18 литров / мин, давление 5 – 10 Бар
  • Сжатый воздух: 4 – 6 Бар
  • Расход воды: максимум 20 литров / мин. Давление воды: 4 – 6 Бар
  • Габариты: высота (вал) 3219 мм, ширина 1020 мм, глубина 2650 мм
  • Зазор высоты: 2500 мм
  • Вес: 2500 кг, включая съемник вала, силовые шкафы и шкаф управления

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.