PVA TEPLA EKZ 3500

  • Установка EKZ 3500 предназначена для серийного производства кристаллов кремния диаметром до 300 мм (12 дюймов). Типичный вес загрузки находится в пределах 120– 200 кг в зависимости от применяемого для увеличения загружаемой партии нагревательно-пополняющего устройства. Этот тип установки разработан для полупроводниковой отрасли, но не менее успешно применяется и в производстве фотовольтаических систем.
  • Кристалл: диаметр до 300 мм, длина до 2500 мм
  • Диаметр тигля до 610 мм, высота до 380 мм
  • Котёл: диаметр 940 мм, высота 1680 мм
  • Загрузка: 200 кг поликремния. Начальная нагрузка: максимально 130 кг
  • Электричество: 3AC / PE 400В ± 5%, 50 Гц
  • Источник питания, мощность: максимум 250 кВА
  • Технологический газ: максимум 100 литров / мин
  • Сжатый воздух: 4,5 – 5,0 Бар
  • Расход воды: максимум 300 литров / мин
  • Давление воды: максимум 4,5 – 5,0 Бар
  • Опция: Система фильтрации SiO, блок вакуумных насосов
  • Габариты: высота (вал) 10300 мм, ширина 4200 мм, глубина 3800 мм
  • Зазор высоты: 2500 мм
  • Вес: со съемником вала 9000 кг, силовые шкафы 1800 кг, шкаф управления 360 кг

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.