PE-75

  • Недорогая базового уровня установка для плазменного озоления, удаления фоторезаста с протравленных пластин  для НИОКР, мелкосерийного производства, университетов
  • Подложки до (8″x 9″)
  • Обработка подложек фторсодержащей или кислородсодержащей плазмой
  • Один горизонтальный электрод – 9″ x 10″; зазор – 5,5″  
  • Генератор: 400Вт, 50кГц с плавным регулированием мощности
  • Регулировка газового потока: два ротаметра (0÷25) см3/мин с прецезионными игольчатыми клапанами, возможность использования двух газов одновременно
  • Мановакуумер диапазоном (1÷2000) мторр
  • Двухступенчатый безредукторный масляный вакуумный насос производительностью 5ф3/мин (141,6 л/мин)
  • Система управления на базе программируемого логического контроллера с клавиатурой ввода и алфавитно-цифровым дисплеем; библиотека режимов для автоматического управления технологическим процессом
  • Рабочая камера: ø10″ x 10,75″, материал – алюминий 6061-T6
  • Электроэнергия: 120В, 15А, 60Гц либо 220В, 14А, 50Гц
  • Габариты: 18″x19″x24″
  • Вес: установки – 90 фунтов (40,8 кг); вакуумного насоса – 35 фунтов (15,9 кг)
  • Опционно: мегагерцовый генератор плазмы; система управления на базе компьютера; сухой вакуумный насос; дополнительные газовые входы; цифровые РРГ; световой маячок, системы продувки камеры и вакуумного насоса/осушитель воздуха/генератор продувочного газа; система регулирования температуры

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.