Nordson MARCH StratoSPHERE

  • Высокопроизводительная автоматическая модульная установка плазмохимического травления и очистки поверхности для массового производства
  • Назначение – решение задач корпусирования и объемного монтажа: очистка пластин (удаление загрязнений перед изготовлением столбиковых выводов на пластине, удаление органических загрязнений, удаление фтористых и прочих галогенных загрязнений, удаление металлов и оксидов металлов, улучшение адгезии пленок, очистка металлических столбиковых выводов); травление пластин (удаление с пластин оставшегося непроявленного фоторезиста/бензоциклобутена, формирование изображения диэлектрических слоев, вскрытие/травление фоторезиста, повышение адгезии поверхности пластин к наносимым материалам, удаление излишне нанесенных на пластину материалов и эпоксидных компаундов, повышение адгезии золотых столбиковых выводов, снятие избыточных напряжений в пластине для предотвращения ее поломки, улучшение адгезии пленок, очистка алюминиевых столбиковых выводов)
  • Конфигурация: одно- или двухкамерная (возможны четырех и шести камерные конфигурации)
  • Загрузка в открытых 200мм кассетах или в 300мм унифицированных контейнерах для пластин. Поддерживает автоматизированное перемещение и обработку пластин, позволяет работать с тонкими пластинами, как на носителе, так и без него
  • Процессная камера объем 5,5 л
  • Пластины: ø200мм и ø300мм, круглые и квадратные
  • Источник плазмы: 600Вт, 13,56МГц
  • Электроды: силовой и заземленный электроды – (305х305)мм
  • Газовая система: до 4 газовых линий с РРГ, продувочный азот; давление процессных газов – (0,69÷1,03) бар
  • Вакуумная система: безмасляный форвакуумный насос 0,45 м3/мин
  • Система управления: компьютерная с сенсорным экраном
  • Электроэнергия: 220В, 15А, 1ф, 50/60Гц
  • Очищенный сжатый воздух: (3,45÷6,9) бар
  • Азот продувочный: (2÷6,9) бар
  • Вытяжная вентиляция: подключение ø25,4мм
  • Габариты: (1405×2615х1742) мм
  • Вес: процессный модуль – 480 кг, модуль EFEM – 640 кг
  • Дополнительное оборудование: чиллер, скруббер
  • Опционно: безмасляный насос с азотной продувкой; газогенераторы азота и водорода

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.