Lam Research LAM 2300 Syndion TSV (RIE/TCP)

  • Автоматическая установка плазменного травления с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: сквозное травление поликремния для изготовления микросхем с трехмерной топологией; при добавлении соответствующих процессных камер возможны травление диэлектриков и проводящих материалов
  • До 4-х процессных камер 2300 Syndion
  • Три кассетные загрузочные станции
  • Роботизированные устройства загрузки и перемещения пластин
  • Пластины: ø300 мм
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Источники плазмы: нижний электрод – (0÷2000)Вт, 13,56 MГц; верхний электрод – (0÷3000)Вт, 13,56 MГц; системы автоматического согласования
  • Газовая система: до 16 газовых линий с РРГ в каждом газовом шкафу
  • Применяемые газы: SF6, C4F8, CF4, Ar, O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов – (12÷108) л/ч
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой; система определения окончания процесса
  • Чиллеры, нагреватель
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы, подогрев форвакуумных линий
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Электроэнергия: 208В, 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.