Jipelec Jetlight ANNEAL

JETLIGHT – это программно-управляемая настольная система быстрого термического отжига (RTA) начального уровня Jipelec.

JETLIGHT – это компактная и надежная высокоскоростная система термообработки, подходящая для быстрого термического отжига (RTA) широкого спектра материалов подложек и конструкций (сталь, стекло, c-Si солнечная, III-V, II-VI, германий, сверхпроводники и керамика) с максимальным размером пластин до 50мм. Возможности JETLIGHT соответствуют требованиям университетов и исследовательских центров, планирующих использовать быструю термическую обработку в исследовательских целях. Печь оборудована трубчатой кварцевой камерой и поэтому совместима с обработкой трехмерных образцов с максимальной длиной 150 мм. Процесс выполняется при атмосферном давлении или в вакууме (с использованием газа или нет).

  • Конструкция камеры hot-wall
  • Размер до 50 мм в диаметре. и длиной 150 мм.
  • До двух (2) линий подачи газа
  • Возможность работы в атмосфере и в вакууме
  • Специальное программное обеспечение для управления процессом.
  • Быстрый термический отжиг (RTA) имплантатов и контактов
  • Быстрое термическое окисление (RTO) и нитрирование (RTN)
  • Быстрая термодиффузия (RTD)
  • Кристаллизация, уплотнение и релаксация структурных напряжений

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.