Jipelec JetStar RTA

JETSTAR – это система быстрого термического отжига (RTA) с программным управлением Jipelec, предназначенная для исследований и производства.

JETSTAR был специально разработан для удовлетворения требований подразделений НИОКР, занимающихся разработкой и аттестацией производственных процессов и управлением их внедрением в производство. Этот инструмент может быть сначала оборудован системой ручной загрузки / выгрузки, а затем легко модернизирован с помощью автоматического загрузчика из кассеты в кассету. Мультизональное управление для повышения равномерности температуры, связанное с пирометром, датчиками температуры-термопарами и ПИД-регулятором температуры, обеспечивает высокую точность и воспроизводимость тепловых характеристик при любой температуре.

  • Конструкция камеры типа cold-wall для обеспечения высокой производительности
  • Размер до 300 мм в диаметре.
  • Диапазон температур до 1250 ° C со скоростью нарастания до 200 ° C /сек
  • Контролируемые газопроводы для твердых, жидких и газообразных прекурсоров.
  • Атмосферные и высоковакуумные возможности процесса (10-6 мбар).
  • Быстрый термический отжиг, мониторинг имплантатов
  • Быстрое термическое окисление и азотирование
  • Быстрая термодиффузия (RTD) – например, Spin-on Dopant
  • Кристаллизация, карбонизация
  • Контактное легирование
  • RTCVD процессы (поликремний, нитрид кремния, SiO2 и др.).

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.