FHR.Micro.300-Clean

  • Лабораторная установка плазменной предочистки
  • Назначение: проведение процессов предочистки кислородной плазмой
  • Подложкодержатель с фиксаторами для подложек размером 300 x 300 мм
  • Ручная загрузка-выгрузка подложек
  • Ручное управление
  • Процессная камера из алюминия
  • Электрод размером 300 x 300 мм для обработки плазмой лицевой (верхней) стороны подложки
  • Опционно – второй электрод (нижний) для обеспечения очистки подложек со всех сторон
  • Опционно: оснастка для очистки подложек от органических загрязнений

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.