FHR FLA-100

  • Установка импульсного отжига (БТП – формирование сверхмелких переходов, обработка гетероэпитаксиальных слоев, производство солнечных элементов)
  • Подложки до Ø4″, с адаптером – Ø3″, Ø2″; прямоугольные образцы 20х30мм толщиной до 1мм
  • Предподогрев 700 – 1100°C, максимальный нагрев – 2000°C
  • Изменение температуры – до 100°K/сек
  • Рабочее давление: от 1х10-5 мбар до 2,6х10-1 мбар
  • Газы: Ar, N2, O2; c контроллерами массового расхода
  • 8 импульсных ламп диапазона 400 – 800 нм
  • Однородность температуры подложки 1,5%
  • Нагрев только поверхности материала

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.