ELS 7612FA

  • Автоматическая установка проявления фоторезиста
  • Размер подложки:    200 – 300мм
  • Состав:автоматическая загрузка / Робот с треком / система выравнивания / система нагрева /  зона выгрузки
  • Тип робота:Трёхосевой
  • Класс чистоты:класс 100 с HEPA фильтром
  • Скорость вращателя:30 ~ 5000 оборотов в минуту
  • Ускорение: 8000 оборотов в секунду
  • Способ дозирования проявителя: сопла с возможностью сканирования (опционально контроль температуры проявителя)
  • Подача азота:наличие
  • Нагрев: до 150°С (опционально до 200°С)
  • Способ нагрева: контакт / с зазором
  • Управление:встроенный компьютер
  • PLC секвенсор:Mitsubishi Q series
  • Рецепты:30 рецептов x 50 шагов
  • Производительность:90-120 шт. в час
  • Камера для нанесения проявителя
  • Столики для нагрева и охлаждения пластин
  • Подача химических реагентов с помощью насоса
  • Насадка сканирующего типа: программируемая
  • Насадка для деионизированной воды / N2
  • Насада для промывки задней стороны пластин
  • Управление операциями: Сенсорная панель.
  • Подача химических реагентов: централизованная или местная
  • Высокий коэффициент использования
  • Гибкая система для настройки потокового процесса
  • Подача проявителя с помощью насоса / сжатого N2.
  • Собственные программное обеспечение/ аппаратные средства / оптические технические системы компании ELS, быстрое и легкое соответствие запчастей
  • Высокая однородность результатов и высокая производительность
  • Автоматическое преобразование размеров пластин
  • Опционально:

(1) Система контроля температуры

(2) Порт для автозагрузки

(3) SECS / GEM (стандарт в области связи для полупроводниковой промышленности/общая управляющая программа для мультипроцессорных приложений в реальном времени)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.