Corial PS200

  • Кластерная четырехмодульная установка серийного производства и специализированного применения
  • Полностью автоматизированная кассетная загрузка с использованием вакуумного робота и подъемного устройства для кассет с механическим зажимом или электростатическим держателем (опционно) пластин
  • Может объединять до трех процессных модулей с технологиями RIE (реактивно ионное травление), ICP-RIE (травление индуктивно связанной плазмой – реактивно ионное травление) или PECVD (плазм стимулированное осаждение из газовой фазы) серий Corial 200 (Corial 210RL, Corial 210IL, Corial D250)
  • Транспортировочный модуль создан на базе вакуумного робота Brooks MagnaTran® 7 (MAG 7) для точного, надёжного и автоматизированного перемещения пластин
  • Размер кассет зависит от толщины пластин
  • Загрузка:  пластины 4”, 6”, 8”
  • Занимаемая площадь: 2800 х 1300 мм (без учета форвакуумного насоса)
  • Назначение модулей: установка реактивно ионного травления Corial 210RL – травление кремния, соединений кремния, полимеров и металлов; установка травления индуктивно связанной плазмой и реактивно ионного травления Corial 210IL – травление соединений А3В5, травление с высокой скоростью и повышенной однородностью; установка плазмостимулированного осаждения из газовой фазы с встроенной плазменной очисткой Corial D250 – возможность проведения низкотемпературного плазмостимулированного осаждения из газовой фазы, высокотемпературное осаждение слоев aSi-H, SiO2, Si3N4, SiC, SiOCH, SiOF

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.