Applied Materials AMAT Centura (5200 / Ultima Plus) HDP CVD 200mm

  • Автоматическая многокамерная установка химического осаждения из газовой фазы с использованием высокоплотной плазмы и с  шлюзовой загрузкой для серийного производства
  • Назначение: осаждение нелегированных и легированных слоев, включая узкощелевую изоляцию (STI), предметаллический диэлектрик (PMD), межметаллический диэлектрик (IMD), межуровневый диэлектрик (ILD), пассивирующие слои и пр.
  • До 4-х процессных камер. Варианты: Ultima S TD, Ultima PLUS, Ultima TE, Ultima-X
  • Загрузка в SMIF-контейнерах
  • Две или три кассетные загрузочные станции
  • Роботизированное устройство загрузки, ориентации и перемещения пластин
  • Система микроволновой плазменной очистки камер
  • Пластины: до ø200мм
  • Подложкодержатель с электростатическим прижимом и гелиевым охлаждением
  • Источники процессной плазмы: верхний/боковой электрод – (0÷5300)Вт, 2 MГц; нижний электрод – (0÷5000)Вт, 13,56 MГц; системы автоматического согласования
  • Газовая система: до 10 газовых линий с РРГ на процессную камеру
  • Кольцевой газовый распылитель с 18 керамическими соплами
  • Применяемые газы: SiH4, H2, PH3/SiH4, SIF4, NH3, NF3, Ar, O2, He, N2 и прочие;расход процессных газов – (1,2÷120) л/ч
  • Система управления: компьютерная; система управления температурой
  • Чиллеры, нагреватель
  • Высокопроизводительная вакуумная система: турбомолекулярные насосы, безмасляные форвакуумные насосы
  • Очищенный сухой сжатый воздух
  • Электроэнергия: (200÷208)В, 320А (400А), 3ф, 50/60Гц

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.