AnnealSys AS-One

  • Печь для БТП (БТ отжиг, окисление, диффузия, отжиг п/п соединений, нитридирование, силицидирование, кристаллизация, спекание)
  • Диапазон температур – до 1250°C
  • Изменение температуры – до 200°C/сек (4″)/ до150°C/сек (6″)
  • Размер подложки –  Ø4″ или Ø6″
  • До 3 процессных и 1 продувочная газовые линии
  • Вакуумирование до 10-6 Торр (возможно до 10-6 мбар)

к списку

Scroll Up

ООО «СКТО ПРОМПРОЕКТ» обязуется не распространять и не передавать персональные данные третьим лицам.