НИКА-3

  • Автоматизированная установка для выращивания монокристаллов способом Чохральского
  • Диаметр тигля для расплава: до 150 мм
  • Масса кристалла: до 5 кг; до 10 кг
  • Чувствительность датчика веса: ≥0,02 г; ≥0,04 г
  • Рабочий ход верхнего штока: 550 мм
  • Рабочая скорость перемещения верхнего штока: 0,1-120 мм/час
  • Скорость вращения верхнего штока: 1-100 об/мин
  • Рабочий ход нижнего штока: 200 мм
  • Источник нагрева: индукционный
  • Тип преобразователя: транзисторный (IGBT)
  • Выходная мощность преобразователя: 40 кВт; 100 кВт
  • Диапазон использования выходной мощности преобразователя частоты: 1-100 %
  • Максимальная температура рабочей зоны:  2100°С
  • Давление инертного газа в камере:  не более 1,5х105Па 
  • Предельный форвакуум:   не более 2,6 Па
  • Потребляемая мощность установки (без преобразователя частоты): не более 3 кВт
  • Расход воды:  ≤5 м³/ч
  • Давление охлаждающей воды: от 200 до 250кПа
  • Адаптивная (самонастраивающаяся) система автоматического управления диаметром кристалла

к списку

Scroll Up